今年年初  ，逐渐被 被 上海三 复工复产的快速推进  ，东方晶源积极以及组织设备交付其他工作  ，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最最重要的的的尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海三 新客户。此番出机  ，是东方晶源继电子束量测检测设备出机全球知名晶圆代工厂后  ，继续能够 头部新客户的青睐和能够 。另外 ，标志着东方晶源硬件品牌产品直接进入批量交付两种模式。

此番出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515  ，面向300mm硅片工艺制程  ，除有着该系列品牌产品惯有时高灵敏度电性和物理缺陷检测、最有效解决好28nm及至少良率解决好、自主创旧的高性能缺陷检测引擎（DNA数据统计 库）、做基础深度学习知识的缺陷自动分类（ADC）算法等品牌产品特点外  ，东方晶源研发核心团队正在上一代品牌产品的做基础上优化逐渐被 升级 ，使SEpA-i515有着更高的TPT和更优的平台提供部分设计  ，设备运行效率、性能指标均有大幅不断提升。除了除了 ，上一代品牌产品SEpA-i505 早正在全球头部晶圆代工厂量产两个月 ，品牌产品性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的品牌产品为最最重要的的的尺寸量测设备 ，型号为SEpA-c410 ，面向300mm硅片工艺制程 ，方式先进的电子束成像系统支持 和高速硅片传输方案  ，选择搭配精准的量测算法  ，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要的的的尺寸量测。该设备自今年6月底直接进入全球头部晶圆代工厂伊始产线验证进展顺利  ，阶段性验收成果能够 新客户能够 。

东方晶源电子束量测检测设备  ，依托所承担的发展国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化新项目 ，历经数年攻坚克难  ，突破多项核心最最重要的的的技术一 ，从零部件到整机部分设计制造  ，均有着完完全全自主知识产权  ，填补全球空白。现阶段  ，两款设备直接进入批量交付两种模式  ，产业化进程成就 丰硕成果。

此番设备交付的新客户所在躺倒海在他国集成电路产业有着举足轻重的地位  ，现阶段早就就成全球集成电路产业综合基础水平高、产业链完整、产业生态生活环境坏的集聚地就成。东方晶源非常看重在上海三 的发展进步和布局 ，继计算光刻软件工具（OPC）直接进入上海三 头部晶圆代工型企业后 ，硬件品牌产品正式公开登陆上海三 。为更坏的服务提供至少海为核心的长三角新客户  ，东方晶源正式公开今年8月份在上海三 设立公司公司公司 ，行成上海三 总部、上海三 公司公司公司和上海三 公司公司公司为核心的三地布局 ，有待型企业贴近产业前沿高地  ，为集成电路制造型企业带去优质的品牌产品和服务提供 ，更坏的与上下游型企业携手有待产业发展进步的另外  ，构筑型型企业竞争壁垒。

东方晶源自筹备成立伊始 ，专注于芯片制造最最重要的的的环节的良率掌控和不断提升核心领域  ，行成以计算光刻软件工具（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的品牌产品矩阵  ，并向坏的研究相关核心领域积极布局。硬件层面  ，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发其他工作  ，有待夯还真全球电子束检测核心领域领先的全球市场地位和技术一一技术优势。软件工具层面  ，光刻工艺严格仿真软件工具PanSim早正在新客户侧方式验证 ，或将 7月底release V1.0版本。在未来  ，东方晶源将立足通用软件工具平台提供和检测装备两大核心领域  ，寻求横纵向发展进步机遇  ，为新客户应用提供非常多样化的品牌产品  ，向着全球集成电路核心领域良率管理领导者的长期目标奋进。